無塵精密烤箱的特性

無塵精密烤箱是一種專為高精度、高潔凈度需求設計的工業設備，其核心特性如下：

1.潔凈度控制

采用HEPA/ULPA高效過濾系統，可達到ISO Class 5（百級）或更高潔凈標準

內腔采用316L不銹鋼一體成型，避免顆粒脫落

正壓設計防止外部污染物侵入

2.溫度精準性

控溫精度可達±0.1℃（視型號而定）

多區獨立溫控技術（常見3-8溫區）

升溫速率可調范圍通常為1-10℃/min

3.特殊結構設計

雙層密封門結構（氣密+磁吸）

無風扇對流系統（避免渦流污染）

所有接縫處采用激光焊接工藝

4.智能控制系統

標配配方存儲功能（≥50組工藝參數）

實時記錄溫度曲線（采樣間隔≤1s）

支持遠程監控（MODBUS/以太網接口）

5.安全防護

三重過熱保護（電子/機械/軟件）

漏電保護（≤0.1mA靈敏度）

惰性氣體 purge 接口（選配）

典型應用領域：

半導體封裝（BGA/CSP）

醫療器材滅菌

精密光學元件處理

航天級復合材料固化

維護要求：

建議每500小時更換過濾器

每月進行粒子計數器檢測

年度校準溫度傳感器（需第三方認證）

注意：具體參數需根據廠商規格書確認，不同行業應用可能需符合特定標準（如SEMI F72、IEC 61010等）。